Code:
\documentclass[%
11pt,
ngerman, % wird an andere Pakete weitergereicht
a4paper,
BCOR5mm, % Zusaetzlicher Rand auf der Innenseite
DIV12, % Seitengroesse (siehe Koma Skript Dokumentation !)
]{scrreprt}
\usepackage[latin1]{inputenc}
\usepackage{booktabs, tabularx}
\usepackage{array, ragged2e}
\newcolumntype{Y}{>{\centering\arraybackslash}X}
\begin{document}
\begin{table}[H]
\centering
\begin{tabularx}{0.9\textwidth}{lcYYYYY}
\toprule
Silizium & Unterlage & $\sigma_{Start}$ [MPa] & $T_K$ [°C] & $\Delta\sigma_K$ [MPa] & $\Delta\sigma_R$ [MPa] & $\sigma_{Ende}$ [MPa] \\
\midrule
200 nm a-Si, As & Oxid & 4,29 & 262 & 29,8 & 29,4 & 100 \\
400 nm a-Si, As & Oxid & 4,29 & 262 & 29,8 & 29,4 & 100 \\
200 nm a-Si, P & Oxid & 4,29 & 262 & 29,8 & 29,4 & 100 \\
440 nm a-Si, undot. & Oxid & 4,29 & 262 & 29,8 & 29,4 & 100 \\
800 nm Poly, undot. & Oxid & 4,29 & - & - & - & 100 \\
\midrule
200 nm a-Si, As & Nitrid & 4,29 & 262 & 29,8 & 29,4 & 100 \\
400 nm a-Si, As & Nitrid & 4,29 & 262 & 29,8 & 29,4 & 100 \\
200 nm a-Si, P & Nitrid & 4,29 & 262 & 29,8 & 29,4 & 100 \\
440 nm a-Si, undot. & Nitrid & 4,29 & 262 & 29,8 & 29,4 & 100 \\
800 nm Poly, undot. & Nitrid & 4,29 & - & - & - & 100 \\
\midrule
200 nm a-Si, As & NON & 4,29 & 262 & 29,8 & 29,4 & 100 \\
400 nm a-Si, As & NON & 4,29 & 262 & 29,8 & 29,4 & 100 \\
200 nm a-Si, P & NON & 4,29 & 262 & 29,8 & 29,4 & 100 \\
440 nm a-Si, undot. & NON & 4,29 & 262 & 29,8 & 29,4 & 100 \\
800 nm Poly, undot. & NON & 4,29 & - & - & - & 100 \\
\bottomrule
\end{tabularx}
\caption{\emph{FSM}-Ergebnisse der LPCVD-Siliziumfilme}
\label{fig:fsm_erg_ofen}
\end{table}
\end{document}
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